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平面拋光機加工CVD金剛石膜單一加工技術與復合加工技術哪種好

作者:spider 發表時間:2013-04-14 人氣:
    平面拋光機加工各種超硬材料,其效果不容置疑的,作為最理想的導彈天線材料的金剛石膜,被要求具有極小的表面粗糙度及極高的平面度,其加工方法相對復雜。
    可以加工這種材料的平面拋光機方法很多。但純粹使用單一的方法,所加工出來的金剛石膜都存在各自的缺陷。
平面拋光機外觀
    利用平面拋光機一般機械方法可以拋光大面積金剛石膜,效率也較高,卻容易造成金剛石膜表面損傷。這種方法一般用于金剛石膜的粗加工。
    離子束拋光、反應離子束刻蝕和激光拋光只能對相對較小的金剛石膜進行拋光,
    使用熱化學拋光和摩擦化學拋光,使用這種方法的平面拋光機可以使拋光后的金剛石膜局部達到甚至幾個納米的粗糙度,但整體粗糙度較高,且平面拋光機拋光過程中較高的壓力與溫度容易造成大面積金剛石膜的破裂和損傷。
    總的來講,目前單一的平面拋光機拋光技術很難實現CVD金剛石膜的高效超精密拋光,這個與平面拋光機設備本身無關。
    題中所提到的平面拋光機復合加工方法指的是機械拋光與化學機械拋光相結合的拋光方法。采用游離金剛石磨料對金剛石膜進行粗拋光,可以縮短拋光時間,降低機械拋光損傷,再用平面拋光機化學機械拋光進行精加工,若將磨料粒徑和拋光時間控制在合適的范圍內,可以使CVD金剛石膜的表面粗糙度可以達到4.5nm以上。
    使用復合加工技術的加工金剛石膜,除了平面拋光機外,還有平面研磨機鏡面拋光機雙面研磨機研磨拋光機
 
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