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硅片的機械化學復合拋光處理

作者:admin 發表時間:2014-08-24 人氣:
  對硅片進行機械化學拋光處理,超微磨粉與堿性溶液混合而成的拋光劑以及人造皮革進行拋光,可以達到工件表面變質層很輕微的高品位鏡面加工。
硅片的機械化學復合拋光處理

  拋光壓力的增加,其磨粒的機械作用的加強,拋光器與工件之間接觸面積的增加,所參與的有效的磨粒量也會增加,會加大拋光加工的速度,由于機械加工的加工速度高比不同拋光液進行速度要高很多,所得到的表面粗糙度更高,機械化學拋光是一種有效的工藝加工方法。

  能夠加工出超大規模的集成電路的硅片,所得到的硅微粒游離磨粒來進行硅片表面的研磨加工,整體誤差以及局部厚度誤差都接近于0。

文章作者:深圳市方達研磨技術有限公司
來源:平面研磨機平面拋光機研磨拋光機