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平行度指兩平面或者兩直線平行的程度，指一平面相對于另一平面平行的誤差。表示面與面之間的平行精度。

平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。平面度屬于形位誤差的形狀誤差。是衡量各個點在同一個平面精度的指標。

而表面粗糙度，是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷不平度。它屬于微觀幾何形狀誤差。表面粗糙度越小，表面越光滑。表面粗糙度的大，對機械零件的使用性能有很大的影響。

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這三個表面精度，采用不同機器設備來達到理想精度。一般鏡面拋光機用來提高表面粗糙度，雙面研磨機可以將工件加工到良好的平面度及平行度。而平面拋光機則可以達到理想的平面度和表面粗糙度。